■移載時間の短縮
２キャリア同時にオリエンテーションをそろえることにより移載時間を大幅に短縮
■モード選択
モード選択により２５枚と５０枚の移載が可能
■誤操作防止
各種インターロック機能により誤操作を防止
■ウェーハ倒れ防止
PUSHERのウェーハ挾持機構によりウェーハ倒れを防止
■省スペース
キャリアストレージにより省スペースと良好な作業を実現
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