ウェハ移載機と、ソフトランディング裝置またはボートローダ間で、ボートの乗せかえを行う裝置です。 クリンベンチ側より、爐口スカベンジャに向かってエレベータ本體の左側に爐口がある裝置をＬタイプ、右側に爐口がある裝置をＲタイプがあります。