■重量対応 最大荷重１５ｋｇまで対応可能 ■対応ウェハ ４インチ～８インチまで対応可能 ■連動対応 インライン移載機(jī)、ソフトローダ、拡散爐コントローラと連動して運(yùn)用可能
お電話でのお問い合わせはこちら
製品の価格?納期のお問い合わせ
受付時間 9:30～17:00 ※土日祝を除く
製品における保守のご案內(nèi)
