特長

■省スペース設(shè)計
全長３０００mmのコンパクト化を?qū)g現(xiàn)。

■カラータッチパネル採用
タッチパネルによる操作性に、カラー表示で表現(xiàn)力，見やすさがアップしました。

■ウェハ２５枚の移載が可能
２５枚(１キャリア分)ウェハを１回の動作で移載する事で、移載時間が短縮されます。

■最大７キャリア（１７５枚）の移載が可能
１５０枚バッチ処理に対応します。

■ウェハに負(fù)荷が加わらないホルダー機(jī)構(gòu)
チャック部に加負(fù)荷保護(hù)機(jī)構(gòu)を採用し、萬一の時もウェハの破損を防ぐ事ができます。

■使用ボート毎の伸びに対応した微調(diào)整機(jī)能
ボート上での移載ミスを低減できます。

■ボートのチャック位置決め性向上
ガイドスペーサによりボートの四隅を支持する事で、チャック時の位置決め性が向上し、歪んだボートでも対応が可能。

■各ボートの使用時間を自動積算（拡散爐での熱処理時間を自動積算）
ボートの洗浄や交換時期を確認(rèn)できます。
（ＡＵＴＯ運転、拡散コントローラ（ＭＣ）含めた連動時のみ）

■各種インターロックにより、ウェハの破損を回避
各部動作監(jiān)視の強化により、安全性をアップしました。