特長

■高速昇降溫が可能（ＦＴＰ対応）
縦型抵抗加熱方式を採用した獨特なヒータにより、高速昇溫?高速高溫を可能にし、高速昇降溫処理?通常処理を１臺でこなします。

■弊社獨自のウェーハ移載システム
弊社獨自のウェーハ移載システムを用いることにより、信頼性の高い駆動部となっています。

■ピッチ変換機構搭載
ボート側溝ピッチを任意のピッチに変換してウェーハ移載が可能です。（設定範囲4.76～9.52mm）ウェーハの搬送はカセットToカセットで行われます。

■生産性、操作性を重視した裝置
操作部にタッチパネル付きＴＦＴパネルを採用し、生産性、操作性の良い裝置となっております。

■ウェーハの低溫入爐が可能
ウェーハの低溫入爐が可能です。大気の巻き込みの影響を著しく低減します。

■安全かつ容易な反応管の脫著
自動昇降機を利用し、より安全かつ容易に反応管の脫著が行えます。

■獨自の溫度調節システム
ヒータ及び溫度調節システムに獨自の方式を採用しているため、溫度リカバリー特性が飛躍的に向上しています。

■メンテナンス性
複數臺配置した際にも、メンテナンス性、操作性が損なわれないよう配慮された設計になっております。