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スペックシート（第2版）
■コストパフォーマンス
導(dǎo)入時の顧客対応カスタマイズや立ち上げ時間の短縮により低価格での提供が可能
■フィッティングパフォーマンス
既存クリーンルームに対応した裝置外形
本體寸法：H2600×W900×D1280
■メンテナンスパフォーマンス
主要コンポーネント及びソフトウェアが自社開発の為、將來に渡って保守継続が可能
■カスタマイズパフォーマンス
顧客ニーズに対応した様々なカスタマイズが可能
■プロダクトパフォーマンス
橫型爐からの置き換えが可能な省フットプリント
■エネルギーパフォーマンス
高効率ヒータの開発により當(dāng)社比１０％の省エネを達(dá)成
オプション対応により高速昇降溫や高溫プロセスにも対応可能
| ●基本仕様 | |
|---|---|
| 構(gòu) 造： | 縦型下方開放方式 |
| 処理ウェーハ徑： | 4，5，6，8インチ |
| 処 理 枚 數(shù)： | プロセスウェーハ １５０枚（6インチ以下）?。保埃懊叮?インチ） |
| カセット収納 ： | プロセス、ダミーを含めて最大８カセット（6インチ以下） |
| プロセス、ダミーを含めて最大６カセット（8インチ以下） | |
| プ ロ セ ス： | WET?DRY?ANNEAL etc |
| 使 用 ガ ス ： | N2、O2、H2 etc |
| ???????????? ： | 3枚固定(標(biāo)準(zhǔn))、5枚一括／1枚(オプション) |
| 昇降溫レート ： | 昇溫 10℃/min max 降溫 3℃/min max |
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