特長

■均熱特性の向上
使用溫度に合わせたヒータと自社製高性能コントローラとの組合せにより"安定した溫度制御と均熱長を可能にしています。

■100～200mmウェーハに対応
拡散爐システムはφ100mmからφ200mmまで、御客様のご要望に応える拡散爐です。

■容易なメンテナンス性
熱電対やヒータ交換は、他のヒータが昇溫中でも安全に交換できる構(gòu)造です。

■コストパフォーマンス
使用部品の選定、無駄のない構(gòu)造による低価格を?qū)g現(xiàn)しています。

■リニューアルに対応
外形寸法を最小限に抑え、古く限られたスペースのシステムのリニューアルにも対応致します。