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スペックシート（第6版）
■幅広い流量レンジ
流量レンジは最小5SCCMから、最大400SLMまで豊富に取り揃えています。
■高信頼性
各回路の集積化?機(jī)械系の最適化を図り、小型でありながら、高い信頼性を達(dá)成しています。
■ソフトスタート機(jī)能
本體內(nèi)蔵のソフトスタート機(jī)能は、直線的な立ち上がりで、時(shí)間調(diào)整が可能（最大70秒）、3種のモード（設(shè)定変更時(shí)、電源投入時(shí)、外部バルブ閉→開(kāi)時(shí)）で動(dòng)作します。
■高安定度
溫度安定度は0.05%/℃、リーク規(guī)格は、1×10-10Pa?m3/s(He)まで可能です。
※仕様はスペックシートを參照
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