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スペックシート（第3版）
■高信頼性
內(nèi)部回路の集積化により信頼性とコンパクト化を図りました。
■高い互換性
弊社のMF5100Bシリーズと同じ配管接続材、電源、設定器が使用できます。
■豊富な周辺機器
周辺機器として、指示計、設定器、電源、コネクタ付きケーブル等を用意しています。
| 機種 | マスフローメータ | マスフローコントローラ | ||
|---|---|---|---|---|
| 標準レンジ | 低価格品 | 汎用品 | 低価格品 | 汎用品 |
| 制御範囲 | MF1121B | MF1111B | MF1171B（NC） MF1181B（NO） | MF1141B（NC） MF1151B（NO） |
| 精度定格 | 0～5 SCCM 0～100 SCCM 0～2 SLM 0～10 〃 0～200 〃 0～3 〃 0～20 〃 0～300 〃 0～5 〃 0～30 〃 0～500 〃 0～10 〃 0～50 〃 0～1,000 〃 0～20 〃 | 0.1～5 SCCM 2～100 SCCM 0.04～2 SLM 0.2～10 〃 4～200 〃 0.06～3 〃 0.4～20 〃 6～300 〃 0.1～5 〃 0.6～30 〃 10～500 〃 0.2～10 〃 1.0～50 〃 20～1,000 〃 0.4～20 〃 | ||
| 制御範囲 | － | 2～100%F.S | ||
| 精度定格 | ±2%FS以下 | ±1.5%FS以下 | ±2%FS以下 | ±1.5%FS以下 |
| 直線性 | ±1%FS以下 | ±0.7%FS以下 | ±1%FS以下 | ±0.7%FS以下 |
| 再現(xiàn)性 | ±0.2%FS以下 | ±0.2%FS以下 | ±0.2%FS以下 | ±0.2%FS以下 |
| 応答時間 | 出力電圧が設定値の±2%F.S.以內(nèi)への収束時間約3秒以內(nèi) | |||
| 最高動作圧力 | 1.0MPa | |||
| 耐圧 | 1.5MPa | |||
| 圧力損失 | 5.0kPa | |||
| 動作差圧 | － | 5SCCM～5SLM ： 34～275kPa 10～20SLM ： 69～275kPa | ||
| 流量設定 | － | 0～5V DC | 0～5V DC（標準） 1～5V DC（オプション） | |
| 出力信號 | 0～5V DC | 0～5V DC（標準） 1～5V DC（オプション） | ||
| 使用溫度範囲 | 5～45℃（ガス溫度も同じ） | |||
| 取付姿勢誤差 | ±0.5%FS以下（取り付け姿勢は自由） | |||
| リーク規(guī)格 | 1.013×10-9?m3/s(He)以下（標準） | |||
| 配管接続 | 1/4 スウェージロック（標準）， VCR（オプション） | |||
| 接ガス部材質(zhì) | SUS316，フッ素ゴム | SUS316，フッ素ゴム，フッ素樹脂 | ||
| 質(zhì)量 | 約680g | 約800g | ||
| 消費電力 | 1VA以下 | 3VA以下 | ||
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